羅茨真空泵的分類(lèi)及應(yīng)用
羅茨真空泵簡(jiǎn)稱(chēng)羅茨泵,是一種無(wú)內(nèi)壓縮的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菔秸婵毡茫怯?a href="http://www.xybtem.com" target="_blank" title="羅茨鼓風(fēng)機(jī)" style="color: rgb(255, 0, 0); text-decoration: underline;">羅茨鼓風(fēng)機(jī)演變而來(lái)的。工業(yè)中常用的中羅茨真空泵有羅茨泵和油增壓真空泵。羅茨真空泵具有高效節(jié)能、低噪音、無(wú)泄漏、運(yùn)行平穩(wěn)等特點(diǎn)。
羅茨真空泵的分類(lèi)如下:
1.羅茨泵(又稱(chēng)真空泵)
羅茨泵由于工作壓力范圍不同,可分為直排大氣的干式真宅泵和濕式羅茨泵,還有真空羅茨泵(機(jī)械增壓泵)和高真空多級(jí)羅茨泵等。近年來(lái),羅茨泵應(yīng)用非常廣泛。
羅茨泵是一種雙轉(zhuǎn)子的容積式真空泵,在泵腔內(nèi)有兩個(gè)形狀對(duì)稱(chēng)的轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)做同步相對(duì)旋轉(zhuǎn),形成泵腔內(nèi)容積的周期重復(fù)變化以達(dá)到吸氣和排氣的目的。轉(zhuǎn)子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個(gè)轉(zhuǎn)子彼此朝相反方向旋轉(zhuǎn),由軸端齒輪驅(qū)動(dòng)同步轉(zhuǎn)動(dòng)。轉(zhuǎn)子之間彼此無(wú)接觸,轉(zhuǎn)子與泵腔壁之問(wèn)也無(wú)接觸,其問(wèn)通常有0.15~1.0mm的間隙,泵腔靠間隙來(lái)密封。由于羅茨泵泵腔內(nèi)無(wú)摩擦,轉(zhuǎn)子町高速運(yùn)轉(zhuǎn),一般為1500~3000r/min,無(wú)需用潤(rùn)滑油,可實(shí)現(xiàn)較清潔的抽氣過(guò)程。泵的潤(rùn)滑部位僅限于軸承和齒輪,以及動(dòng)密封處。
圖1 羅茨真空泵
羅茨泵有重量輕、體積小、低噪音、效率高、運(yùn)行快,可抽除含有一定量的灰塵或冷凝物的氣體等優(yōu)點(diǎn),廣泛用于冶金、石油、化工、電子、紡織等工業(yè)中。羅茨泵在100~1Pa真空下有較大抽速,彌補(bǔ)了機(jī)械泵和蒸氣流泵在該壓力范圍內(nèi)抽速小的特點(diǎn),所以又稱(chēng)為機(jī)械增壓泵。羅茨泵在真空工程領(lǐng)域中應(yīng)用時(shí),一般與前級(jí)泵串聯(lián)構(gòu)成機(jī)組,在中真空范圍,作為機(jī)械增壓泵來(lái)應(yīng)用;雙級(jí)或多級(jí)羅茨泵機(jī)組可獲得高真空;對(duì)于干式清潔無(wú)油的抽氣系統(tǒng)多用氣冷式羅茨泵機(jī)組;對(duì)于含水蒸氣的被抽系統(tǒng),多用濕式羅茨泵。
2.油增壓真空泵
工作壓力范圍在10~10-2Pa壓力區(qū)間內(nèi),油擴(kuò)散噴射泵有較大的抽速和較高的最大出口壓力,其抽氣量是擴(kuò)散泵的4~20倍,加熱功率是擴(kuò)散泵的2~5倍。油擴(kuò)散噴射泵在1~0.1Pa下有較大的抽速,由于油擴(kuò)散噴射泵的工作壓力范圍正處于油擴(kuò)散泵和油封機(jī)械泵抽氣能力下降區(qū)域,可彌補(bǔ)真空泵和高真空泵在該壓力范圍抽速較小的缺點(diǎn),因此,該泵除可以做主泵外,還常常用于大型油擴(kuò)散泵和前級(jí)機(jī)械泵之間,保證真空系統(tǒng)的有效工作。
油擴(kuò)散噴射泵對(duì)惰性氣體與其他氣體有相同的抽速,并有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、無(wú)機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)部分,便于操作、維護(hù),壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。油擴(kuò)散噴射泵廣泛應(yīng)用于真空感應(yīng)熔煉、真空電弧熔煉、真空十燥、真空壓力浸漬、真空蒸餾等設(shè)備上。
圖2 羅茨泵機(jī)頭
羅茨真空泵綜合了羅茨鼓風(fēng)機(jī)的優(yōu)點(diǎn),加以改進(jìn)后,在工業(yè)中有著不容小覷的地位。未來(lái)的工業(yè)中,羅茨真空泵仍會(huì)保持著積極發(fā)展的作用。
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